플라즈마는 1879년 영국의 화학자 윌리엄 크룩스라는 사람에 의해 방전관에서 처음으로 확인 되었습니다.이것이 최초의 플라즈마의 발견이었으며 당시 그는 이것을 발광물질이라고 칭했습니다. 플라즈마는 물리학이나 화학분야 에서는 고체,액체,기체의 다음 단계인 이온화된 기체의 상태를 의미합니다. 지구를 벗어난 우주는 대부분 이온화 되어 있는 플라즈마 상태로 되어 있습니다. 우주에 존재하는 모든 물질의 99%가 플라즈마로 이루어져 있다고 할 수 있습니다. 하지만 모든 … Read more
오늘은 EUV 마스크가 포토 공정에서 어떤 역할을 하는지 알아보는 글을 준비했습니다. 반도체의 포토 리소그래피(Photo Lithography) 공정은 광원의 발전과 함께 이어져 왔습니다. 최근 포토 리소그래피의 발전에 크게 영향을 미치는 것중의 하나가 EUV 광원을 사용하여 미세한 패턴을 만드는 것입니다. EUV 광원과 함께 발전되어온 EUV 마스크는 어떤 특징이 있는지 이 글에서 알아보도록 하겠습니다. EUV 마스크의 포토공정에서 중요성 반도체 … Read more
브래그 법칙은 X선이나 빛의 입자가 결정 구조 내에서 상호작용할 때 발생하는 현상을 설명하는 법칙입니다. 이 법칙은 1912년 윌리엄브래그와 윌리엄 로렌스 브래그 형제에 의해 발견되었습니다. 브래그 법칙은 생각보다 쉬운 법칙이니 아래의 설명을 잘 듣고 도움 받으시길 바랍니다. 브래그 법칙(Bragg’s raw)이란? 원자의 배열이 한 공간에 일정하게 반복되는 패턴을 가지는 물질을 우리는 결정(crystal solid)이라고 합니다. 물질은 액체 상태에서는 … Read more