MFC는 기체의 질량 흐름률을 측정 및 제어하는 장치 입니다. 반도체 공정에서 많이 사용되며 거의 모든 GAS가 들어가는 장비에서 볼 수 있다고 할 수 있습니다. 특히 최근 반도체 공정 패턴의 미세화가 진행되면서 ETCH 공정 등 화학용품 및 GAS를 사용하는 장치에는 이러한 미세 조정이 중요하게 되었습니다. 이러한 장치가 어떠한 구성요소와 동작원리로 구동 되는지 아래의 글을 통해 알아보도록 … Read more
Ground Fault Circuit Interrupter(GFCI)는 전기 회로에서 누전이나 전류 변동을 감지했을 때, 이를 신속하게 차단하여 전력 공급을 중단하는 장치를 지칭합니다. 이 안전 장치는 주로 두 가지 형태로 존재합니다. 첫 번째는 가정이나 사무실의 벽에 설치되는 콘센트 타입이며, 두 번째는 전기 패널 내부에 장착되어 전체 회로를 관리하는 브레이커 타입입니다. GFCI의 주된 목적은 전기 감전 사고와 전기 화재를 방지하는 … Read more
누전 차단기는 우리가 가정집에서 흔히 말하는 두꺼비 집이라고 하는 것이다. 반도체 산업에서 많이 활용되어서 이번 기회에 여기에 정리하기로 하였다. 누전 차단기의 구성과 원리를 파악하여 장비를 점검하고 분석하는데 도움이 되길 바라며 아래의 글을 참고하여 많은 분들이 도움을 얻길 바랍니다. 누전 차단기란 누전 차단기는 전기 안전 장치의 종류로서, 미세한 누전이 발생할 때 전기 회로를 자동적으로 차단함으로써 화재 … Read more