반도체 공장에서 유기물 오염도 (Organic Contamination) 평가 결과 해석 및 각 항목 정상 범위
이 표는 반도체 공장에서 유기물 오염도 (Organic Contamination)를 평가한 결과를 나타낸 데이터예요. 정확히 보려는 수치는 아래와 같이 각 유기 화합물의 농도값입니다. 이를 통해 클린룸 환경의 청정도, 특히 제품에 영향을 줄 수 있는 유기 오염물질 수준을 관리하기 위함입니다. 1.유기물 오염도 각 항목의 의미 항목 의미 해석 포인트 TVOC (2.36) Total Volatile Organic Compounds 총 휘발성 유기 … Read more